Dans ce processus, qui fonctionne de manière similaire à l'irrigation sous vide, le gaz ammoniac est fourni au four à l'aide de fours contrôlés avec précision. L'objectif principal de l'alimentation en gaz ammoniac dans un environnement sous vide est de répartir la couche de nitration de manière uniforme sur toute la surface. L'une des raisons pour lesquelles on choisit la nitruration sous vide est qu'elle est plus homogène que la nitruration au gaz et qu'elle donne une valeur de dureté égale sur toute la surface.