En este proceso, que funciona de forma similar a la irrigación al vacío, se suministra gas amoniaco al horno con la ayuda de hornos controlados con precisión. El principal objetivo del suministro de gas amoniaco en un entorno de vacío es distribuir la capa de nitración uniformemente por toda la superficie. Una de las razones para elegir la nitruración al vacío es que es más homogénea que la nitruración gaseosa y proporciona el mismo valor de dureza en toda la superficie.